Research Academics  
 
   
 
Dissertations
 
  2011
Dipl.-Ing. Xu Xin
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
  2010
Dipl.-Ing. Michael Schiffer
Piezoelektrische MEMS Mass Flow Controller zur Dosierung von Flüssigkraftstoff
  2009
Dipl.-Ing. Andreas Berns
Mikrosensor-Arrays für die experimentelle Strömungsmechanik
  2008
Dipl.-Ing. Ulrich Buder
2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamische Wandschubspannungsfelder
  2006
Dipl.Phys. Tillmann von Papen
Ein mikromechanischer Oberflächenzaunsensor zur Messung der Wandschubspannung in Rückströmgebieten
  2006
Dottore in Fisica Luca Tomasi
A new micromachined piezoresistive pressure sensor with dual range and self-test functionalities
  2006
Dipl.Phys. Patrick Kreisl
Mikromechanische Plattform für Metalloxid- und MOS- Gassensoren auf SOI-Basis
2006
Ms.Sc.Xiao Wei
Dynamische Ermüdungsuntersuchungen an mikromechanischen Polysiliziumstrukturen
2006
Dipl.-Ing. Ha-Duong Ngo
Design und technologische Realisierung eines Mikrospiegelmoduls für Anwendungen in der Telekommunikation
2004
Dipl.-Phys. Kay Koppenhagen
Selbsttestkonzepte für mikromechanische Inertialsensoren
2004
Dipl.-Ing. Ernst Thielicke
Design und Realisierung eines elektrostatischen Mikrorelais in Oberflächen-
Mikromechanik
[abstract]  [pdf]

2003
Dipl.-Phys. Stefan Sassen
Kapazitive mikromechanische Drehraten- und Beschleunigungssensoren mit hybrider Inertialmasse

2002
Dipl.-Ing. Stefan Zappe
Development and Characterization of the 3C-SiC/SOI Material System for High Temperature Piezoresistive Pressure Microsensors
2002
Dipl.-Phys.Harald Steffes
Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion von NO2 und O3
[zip]
2001
M. Sc. Cuk Imawan
Charakterisierung und Modifikation von gassensitiven MoO3-Dünnschichten
2000
Dipl.-Phys. Jochen von Berg
Piezoresistiver Brennraumdrucksensor auf der Basis neuer Substratmaterialien für den Serieneinsatz im Automotor
2000
Dipl.-Ing. Aylin Hein
Einflüsse von Verunreinigungen im Silicium und in der Ätzlösung auf das anisotrope Ätzen von Silicium in wäßrigen KOH-Ätzlösungen [pdf]
2000
Dipl.-Phys. Henning Schröder
Modell des anisotropen Ätzens von einkristallinem Silizium in wäßrigen KOH-Lösungen
[pdf]

2000
Dipl.-Phys. Thomas Velten
Mikromechanisch gefertigter 3D-Beschleunigungssensor für die Hand-Gebärdenerfassung [pdf]

1999
Dipl.-Ing. Jörg Naundorf
Thermopneumatische planare Antriebe für Mikroaktuatoren
1998
Dipl.-Ing. Walter Reichert
Doping by Nitrogen Implantation and Characterization of Heteroepitaxial 3C-SiC Thin Films on Si and SOI Substrates
 
1997
Dipl.-Phys. Doris Mutschall
Herstellung und Charakterisierung von NiO- und MoO3-Dünnschichten für Anwendungen in der Gas-Mikrosensorik
 
1996
Dipl.-Phys. Jörg Fricke
Konzeption und Realisierung von Beschleunigungs-Mikrosensoren in Oberflächen-Mikromechanik
 
1995
Dipl.-Phys. Dieter Maier-Schneider
LPCVD-Polysilizim in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften
[pdf]
 
1995
Dipl.-Ing. Christian Scheibe
Design und Realisierung eines kapazitiven Gassensorelementes mit integrierter Heizung für Betriebstemperaturen bis 450 °C
 
 
1994
Dipl.-Ing. Matthias Werner
Elektrische Untersuchung des Metall-Diamantübergangs und der Stromflußmechanismen polykristalliner Diamantfilme
 
1993
Dipl.-Ing. Jie Lin
Kapazitiver Mikrogassensor in Dünnfilmtechnik zur Messung von Schwefeloxis in Umgebungsluft
 
1990
Dipl.-Ing. Peter Kopystynski
Piezoresistiver Silizium-Drucksensor mit Polysilizium-Abgleich- und Temperatur-kompensationsnetzwerk
 
1990
Dipl.-Ing. Pollak-Diener
Mikrowärmeleitfähigkeitssensor in Siliziumtechnologie für die Analyse von zwei- und dreikomponentigen Gasgemischen