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  MST Reinraum- Praktikum  
     

Das Praktikum "Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik" ( L911 ) ist ein
besonderes Angebot für Studenten mit Haupt- oder Schwerpunktfach Mikrosystemtechnik.
Es wendet sich an Studenten, die interessiert sind, ihr in Vorlesungen erworbenes Wissen
auf den Gebieten Halbleitertechnologie und -charakterisierung auch einmal in der Praxis, d.h.
im Reinraum, anzuwenden.

MST- students in the cleanroom lab 2006

Anhand des Herstellungsprozesses für einen piezoresistiven Drucksensor werden die Themen:
Infrastruktur eines Reinraums, Arbeiten im Reinraum, Oxidation, LPCVD, Sputtern, Foto-
lithographie, Nasschemischen Ätzen, Reaktives Ionenätzen, Galvanik, Anodisches Bonden
und Drahtbonden erläutert und die Prozessschritte von den Studenten selbst im Reinraum
durchgeführt.

Die Veranstaltung findet jährlich als zweiwöchiges Blockpraktikum im Anschluss an das
Wintersemester statt ( 4 SWS ). Voraussetzung ist die Vorlesung "Technologien der
Mikrosysteme I". Termin: März
Achtung : Begrenzte Teilnehmerzahl !

Anmeldung bei Johannes Jäschke

Ansprechpartner:


Dr.-Ing. Johannes Jäschke

Tel.: +49-30-464-03 223
Tel.: +49-30-314 72 889
Fax: +49-30-464-03 221
E-Mail: J.Jaeschke@tu-berlin.de
Adresse:     
Sekretariat TiB 4/2-1
Gustav-Meyer-Allee 25
13355 Berlin